Главная Книги Технические/Компьютерные Скачать Папков В.С., Цыбульников М.Б. - Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Папков В.С., Цыбульников М.Б. - Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
31 Июл 2019 290 0
Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.
Название: Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б.
Жанр: Учебное пособие
Издательство: Энергия
Год: 1979
Страниц: 90
Язык: Русский
Формат: pdf
Размер: 17,02 Mb
Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.
Название: Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б.
Жанр: Учебное пособие
Издательство: Энергия
Год: 1979
Страниц: 90
Язык: Русский
Формат: pdf
Размер: 17,02 Mb
Скачивайте бесплатно похожие книги
Скачать бесплатно Папков В.С., Цыбульников М.Б. - Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Просмотров: 290 | Добавил: rogas86 | Рейтинг: 0.0/0 Добавить в закладки
Сохраните в социальную сеть:
Рекомендуем для скачивания
Благодарим Вас, что скачиваете на Файлодром.ру!
Вы попали по адресу! У нас есть всё для Вашего компа, а также для развлечения и отдыха. На этом сайте Вы сможете в один клик скачать Папков В.С., Цыбульников М.Б. - Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе. Наш сайт даёт Вам большие преимущества: у нас нет рекламы, не нужно ждать и отправлять смс, всё абсолютно бесплатно. Мы работаем для Вашего удобства!
Если ссылки к файлу устарели, пожалуйста, сообщите нам в комментариях.
Напишите комментарий к книге Папков В.С., Цыбульников М.Б. - Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе:
| Всего комментариев: 0 | |
